电子束法烟气治理技术的研究工作始于20世纪70年代初期。1971年日本原子能研究所与Ebara公司开始研究烟道气辐照引起的脱除和Nox的辐射化学反应。在美国能源部的资助下，在原公司进一步开发这一项技术，目前已建立了一批示范点，其中包括我国四川省成都热电厂的电子束烟气脱硫示范装置。欧美等国家也相继开展了这方面的研究。
虽然电子束法具有很好的发展前景，但也存在着一些不足:
1、产生x射线，工业应用时必须建有混凝土防辐射工程，装置不能移动;
2、冷却窗用压缩空气冷却，电子线照射产生大量臭氧，对装置有腐蚀，对周围环境也有害;
3、由于电子束法产生的高能电子能量非常高，对于烟气中任何气体分子均可破坏其化学键，使烟气分子电离产生离子，因而烟气中含量比较高的氮气分子和一些无害物质将被分解和电离，浪费了能量，造成工艺的能耗较大;
4、采用的电子枪价格昂贵，电子枪及靶窗的寿命短，设备结构较复杂。
介质阻挡放电技术
介质阻挡放电法是产生等离子体较为理想的方法，也是比较早得到放电应用的方法之一。它的工作原理是在两电极之间插入一介质，然后通过施加足够高的交流电，使电极间隙间的气体达到击穿，从而产生大量细微的快脉冲放电通道。电介质在放电过程中相当一个电容器，起到储能的作用。
上海羿清环保采用的是生物除臭，其生产的生物滤池臭气处理设备能够有效处理臭气，而且不会产生二次污染，受到业内专业人士的一致赞誉。
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